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年产8000吨半导体用抛光液、清洗液，200万片硅片加工，600万片玻璃片加工，1万件半导体零部件ALD镀膜表面处理技改项目

审批

浙江-嘉兴-海盐县

发布时间： 2026年10月28日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0424MA2CY4DM0L	增田清志
应刚毅	省市**县
望海街道新南路222号智慧新型显示城一期3号厂房

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

年产8000吨半导体用抛光液、清洗液，200万片硅片加工，600万片玻璃片加工，1万件半导体零部件ALD镀膜表面处理技改项目	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市**县望海街道新南路222号智慧新型显示城一期3号厂房
经度:120.924730 纬度: 30.548780	****环境局
	2025-07-24
嘉环建〔2025〕23号	****0424MA2CY4DM0L001Z
2026-07-13	4500
7	****
****0424MA2CY4DM0L	****
****0424MA2CY4DM0L	******公司
913********366810W	2026-07-20
2026-07-21	2027-01-20
2026-09-22	2026-10-28
	http://www.****.com/gggs/spgg/2026-09-22/1515.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

扩建	扩建
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产8000吨半导体用抛光液、清洗液，200万片硅片加工，600万片玻璃片加工，1万件半导体零部件ALD镀膜表面处理	年产8000吨半导体用抛光液、清洗液，200万片硅片加工，600万片玻璃片加工
根据企业发展需要，该项目分二个阶段实施：（1）第一阶段主要配套混合罐、激光切割机、双轴精雕机、精雕机、研磨机、双面抛光机、超声波清洗机、离心甩干机等设备，设计产能为年产8000吨半导体用抛光液、清洗液，200万片硅片加工，600万片玻璃片加工。（2）第二阶段配套ALD镀膜机、检测设备等设备，设计产能为年产1万件半导体零部件ALD镀膜表面处理。第一、二阶段合计生产能力为年产8000吨半导体用抛光液、清洗液，200万片硅片加工，600万片玻璃片加工，1万件半导体零部件ALD镀膜表面处理。本项目第一阶段工程实际投资4500万元，其中环保投资7万元，占总投资的0.16%。第二阶段目前尚未实施，本次验收范围为第一阶段，项目第二阶段工程不属于本次验收的内容（将另行验收）。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1.半导体用清洗液：加超纯水→计量配料投料→混合搅拌→取样检测分析→过滤灌装→成品入库 2.半导体用抛光液：加超纯水→计量配料投料→混合搅拌→取样检测分析→过滤灌装→成品入库 3.半导体用硅片加工：硅片→激光切割→精雕→研磨→抛光→超声波清洗→离心甩干→检验→包装入库 4.半导体用玻璃片加工：玻璃片→研磨→抛光→超声波清洗→离心甩干→检验→包装入库 5. ALD镀膜表面处理：半导体零部件→等离子清洗→抽真空→通入载气→TMA脉冲→吹扫→水氧化→二次吹扫→ALD沉积→快速热退火→检测→包装入库	1.半导体用清洗液：加超纯水→计量配料投料→混合搅拌→取样检测分析→过滤灌装→成品入库 2.半导体用抛光液：加超纯水→计量配料投料→混合搅拌→取样检测分析→过滤灌装→成品入库 3.半导体用硅片加工：硅片→激光切割→精雕→研磨→抛光→超声波清洗→离心甩干→检验→包装入库 4.半导体用玻璃片加工：玻璃片→研磨→抛光→超声波清洗→离心甩干→检验→包装入库
第一阶段半导体零部件ALD镀膜表面处理暂未实施

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1.废水：加强废水污染防治。项目须落实雨污分流、清污分流、分类收集、分质处理、监控排放相关要求。排污管道须采用架空管或明渠明沟形式。项目产生的废水（生产废水和生活污水）均依托现有废水处理设施进行处理。本项目建成后全厂（包括本项目及现有项目）废水纳管执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）及《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013），具体按《环评报告书》提出的标准及限值要求进行控制，并按《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）规定，落实项目单位产品基准排水量控制要求。 2.废气：加强废气污染防治。统筹考虑加强全厂废气防治工作，优化生产设备选型提高项目设备配置和密闭化、自动化水平，从源头减少废气的无组织排放，按照《省重点行业大气污染防治绩效分级技术指南电子制造（试行）》中的B级要求进行设计建设。项目激光切割产生的颗粒物负压收集后经布袋除尘装置处理后通过排气筒高空排放。项目产生的废气排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996），有组织和无组织废气具体按《环评报告书》提出的标准及限值要求进行控制。 3.噪声：加强噪声、土壤和地下水污染防治。优化厂区平面布局，选用低噪声设备，噪声设备采取隔声、消声、减振等各项噪声污染防治措施，厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准。施工期噪声严格执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）。提高设备、管线的密闭性，减少物料的跑、冒、滴、漏，对厂区内有毒有害物质可能泄漏到地面的区域采取相应防渗措施，有效防止对土壤和地下水环境的不利影响。 4.固废：加强固废污染防治。按照“化、减量化、无害化”处置原则，建立台账制度，规范设置固废暂存库，危险废物和一般固废分类收集、堆放、分质处置，尽可能实现的综合利用。项目危险废物贮存须满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）等要求。项目产生的危险废物应委托有资质单位处置，并严格执行危险废物转移制度。严禁委托无危险货物运输资质的单位运输危险废物，严禁委托无相应危险废物处理资质的个人和单位处置危险废物，严禁非法排放、倾倒、处置危险废物。一般工业固体废物贮存、处置的设施、场所须满足《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2020）等相关要求，确保不对环境造成二次污染。建设项目若涉及学物质的生产、使用的，须在项目投运前按相关规定完成登记申报。	1.废水：厂区实行雨污分流；生产废水（研磨废水、抛光废水、超声波清洗废水、设备清洗废水、精雕废水、地面拖洗废水）经原有废水处理设施调节、絮凝沉淀处理后达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排**园区污水管网；超纯水制备废水（浓水、反冲洗废水、树脂再生废水）水质较好，直接纳管排放；生活污水经化粪池园区污水管网。 2.废气：本项目激光切割废气收集后经原有项目布袋除尘装置治理后通过20m排气筒（P1）高空排放。 3.噪声：项目在设备选型上注重选择低噪音设备，厂区合理布局，加强设备日常维护，降低噪声影响。 4.固废：符合“化、减量化、无害化”原则。边角料、废研磨片、废抛光片、废次品、收集粉尘、废布袋、废包装袋（箱）、纯水制备废物（废砂、废活性炭、废滤芯、废RO膜、废树脂、废滤膜）收集后外卖综合利用；污泥、废包装桶（瓶）、废机油暂存于危废暂存场所内，定期委托市公司收集贮存，然后委托有资质单位处置；研磨渣、抛光渣、废滤芯尚未产生，产生后需定期委托市**公司收集贮存，然后委托有资质单位处置；精雕沉渣、生活垃圾由环卫部门统一清运。本项目生产车间2楼东北侧设有1个约35m2的危废暂存场所，并已按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）中的规定采取了防风、防雨、防晒、防漏、防渗、防腐等措施，暂存场所外张贴了危险废物警示标志，并设置了专人管理，危险废物在暂存场所内分类分区存放。建设单位已与市**公司签订了工业危险废物收集转移服务合同，本项目产生的污泥、废包装桶（瓶）、废机油暂存于危废暂存场所中，定期委托转移处置，并在转移过程中执行了转移联单制度，同时做好了台账记录。此外，生产车间3楼西侧设置了1间约20m2的一般固废暂存场所，并按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）中的规定采取了防渗漏、防雨淋、防扬尘等措施，边角料、废研磨片、废抛光片、废次品、收集粉尘、废布袋、废包装袋（箱）、纯水制备废物（废砂、废活性炭、废滤芯、废RO膜、废树脂、废滤膜）收集后外卖综合利用。建设单位应做好一般工业固体废物的管理，按照《一般工业固体废物环境管理工作指南》（环办固体函【2026】18号）中的规定填写一般工业固体废物台账，并根据《省工业固体废物电子转移联单管理办法（试行）》（浙环发【2023】28号）在固体废物管理信息系统中填写省工业固体废物电子转移联单，如实记录固体废物的种类、数量、流向等有关信息。因此，建设单位固废均得到了妥善处置，对周围环境基本无影响。
环评审批激光切割废气经1套布袋除尘装置治理后通过20m排气筒高空排放；实际生产中激光切割过程废气产生量较小，废气产生浓度较低，激光切割废气经原有项目布袋除尘装置治理后通过20m排气筒高空排放，本项目未新增排气筒数量；此外，布袋除尘原理为利用布袋滤料的孔隙捕集气流中的颗粒物，通过及时更换布袋，对颗粒物的治理效率可以保持在95%以上；因此，本项目激光切割废气采用布袋除尘工艺治理，技术上是可行的。根据调查及检测报告可知，原有项目喷砂废气及本项目激光切割废气排放量均极小，污染物排放量未超出环评审批。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

严格落实污染物排放总量控制措施及排污权交易制度。按照《环评报告书》结论，本项目不增加污染物排放总量，建成后全厂污染物外排环境总量值为废水量57172t/a、CODCr2.287t/a、氨氮0.114t/a、颗粒物0.13t/a。你公司须依法依规落实排污权有偿使用相关规定。	已落实。本项目CODCr排放量为0.494t/a，氨氮排放量为0.025t/a，总氮排放量为0.148t/a，烟粉尘因排放浓度未检出而无法计算排放量，均未超出本项目总量控制建议值（本项目总量控制建议值：CODCr≤0.539t/a，氨氮≤0.027t/a，总氮≤0.162t/a，烟粉尘≤0.001t/a）。全厂化学需氧量、氨氮通过县排污权交易平台获得有偿使用权，化学需氧量、氨氮、挥发性有机物、工业烟粉尘总量已进行削减替代，在县区域内调剂平衡。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

4.3689	1.2351	5.7172	10.8806	-5.277	-9.645
1.748	0.494	2.287	4.352	-2.11	-3.858
0.087	0.025	0.114	0.218	-0.106	-0.193
0	0	0	0	0	0
0.524	0.148	0.686	1.306	-0.634	-1.158
0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	/
0.03	0	0.13	0	0.03	0	/
0	0	0	0.145	-0.145	-0.145	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

废水处理设施；化粪池

pH值、化学需氧量、悬浮物、总氮、总磷、LAS、石油类执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准限值要求；氨氮执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放标准》（DB33/887-2025）表1中间接排放限值要求

厂区实行雨污分流；生产废水（研磨废水、抛光废水、超声波清洗废水、设备清洗废水、精雕废水、地面拖洗废水）经原有废水处理设施调节、絮凝沉淀处理后达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排****园区污水管网；超纯水制备废水（浓水、反冲洗废水、树脂再生废水）水质较好，直接纳管排放；生活污水经化粪池****园区污水管网。

在监测日工况条件下，废水总排放口的pH值、化学需氧量、悬浮物、总氮、总磷、LAS、石油类监测结果均符合《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准限值要求；氨氮监测结果符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放标准》（DB33/887-2025）表1中间接排放限值要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

布袋除尘装置

《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2

本项目激光切割废气收集后经原有项目布袋除尘装置治理后通过20m排气筒（P1）高空排放。

在监测日工况条件下，激光切割废气处理设施排放口的颗粒物排放浓度及排放速率符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级标准要求。企业厂界四周的非甲烷总烃、颗粒物无组织排放浓度均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值要求。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

隔声减振措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

项目在设备选型上注重选择低噪音设备，厂区合理布局，加强设备日常维护，降低噪声影响。

在监测日工况条件下，企业厂界四周昼间噪声监测值均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

加强固废污染防治。按照“**化、减量化、无害化”处置原则，建立台账制度，规范设置固废暂存库，危险废物和一般固废分类收集、堆放、分质处置，尽可能实现**的综合利用。项目危险废物贮存须满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）等要求。项目产生的危险废物应委托有资质单位处置，并严格执行危险废物转移制度。严禁委托无危险货物运输资质的单位运输危险废物，严禁委托无相应危险废物处理资质的个人和单位处置危险废物，严禁非法排放、倾倒、处置危险废物。一般工业固体废物贮存、处置的设施、场所须满足《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2020）等相关要求，确保不对环境造成二次污染。建设项目若涉及**学物质的生产、使用的，须在项目投运前按相关规定完成登记申报。

已落实。符合“**化、减量化、无害化”原则。边角料、废研磨片、废抛光片、废次品、收集粉尘、废布袋、废包装袋（箱）、纯水制备废物（废砂、废活性炭、废滤芯、废RO膜、废树脂、废滤膜）收集后外卖综合利用；污泥、废包装桶（瓶）、废机油暂存于危废暂存场所内，定期委托**市****公司收集贮存，然后委托有资质单位处置；研磨渣、抛光渣、废滤芯尚未产生，产生后需定期委托**市****公司收集贮存，然后委托有资质单位处置；精雕沉渣、生活垃圾由环卫部门统一清运。本项目生产车间2楼东北侧设有1个约35m2的危废暂存场所，并已按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）中的规定采取了防风、防雨、防晒、防漏、防渗、防腐等措施，暂存场所外张贴了危险废物警示标志，并设置了专人管理，危险废物在暂存场所内分类分区存放。建设单位已与**市****公司签订了工业危险废物收集转移服务合同，本项目产生的污泥、废包装桶（瓶）、废机油暂存于危废暂存场所中，定期委托转移处置，并在转移过程中执行了转移联单制度，同时做好了台账记录。此外，生产车间3楼西侧设置了1间约20m2的一般固废暂存场所，并按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）中的规定采取了防渗漏、防雨淋、防扬尘等措施，边角料、废研磨片、废抛光片、废次品、收集粉尘、废布袋、废包装袋（箱）、纯水制备废物（废砂、废活性炭、废滤芯、废RO膜、废树脂、废滤膜）收集后外卖综合利用。建设单位应做好一般工业固体废物的管理，按照《一般工业固体废物环境管理工作指南》（环办固体函【2026】18号）中的规定填写一般工业固体废物台账，并根据《**省工业固体废物电子转移联单管理办法（试行）》（浙环发【2023】28号）在**固体废物管理信息系统中填写**省工业固体废物电子转移联单，如实记录固体废物的种类、数量、流向等有关信息。因此，建设单位固废均得到了妥善处置，对周围环境基本无影响。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

加强日常生态环保管理和环境风险防范与应急。落实风险防范措施，加强环境风险应急措施，有效降低环境风险，项目环保设施须委托有相应资质的单位设计，并与主体工程一起落实安全生产相关技术要求，按要求自行或委托开展安全风险评估，严格落实《关于加强工业企业环保设施安全生产工作的指导意见》（浙应急基础【2022】143号）、《****委员会关于印发的通知》（浙安委【2024】20号）等相关要求。建设单位须按要求编制企业突发环境事件应急预案，制定有效的环境风险管理制度，加强日常生态环保管理和环境风险防范与应急，定期开展应急演习，加强员工环保技能培训，健全落实各项环境管理制度。因地制宜设置足够容量的环境应急事故池及初期雨水收集池，确保生产事故污水、受污染消防水和污染雨水有效收集并妥善处理避免排入外环境。建设单位应采取切实可行的措施，尽可能降低环境污染事故发生率，一旦风险事故发生后，须及时启动应急预案，有效控制风险事故造成的环境污染，确保周边环境安全。

已落实。企业已编写了突发环境事件应急预案，****环境局**分局备案，备案号为330424-2026-084-L。企业厂区内设置了事故应急装置、雨水截断系统等应急措施，成立了相应的应急队伍。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程