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| 椭偏仪 | 1.0/台 | 465000.0 | 颐光科技 | SE-Mapping | [{"key":"1","value":"1.光谱范围:≥250-1000nm\r\n2.光谱测量间隔:<1nm @UV-VIS\r\n3.单点测量时间:<10s\r\n4.光斑尺寸:<500μm,消透明衬底背反\r\n5.光强调节方式:≥5档光强切换挡,根据光强信息切换最佳挡位\r\n6.偏振参数:Mueller Matrix:16组,Psi:0-90°,Delta:-90-270°\r\n7. Mapping功能:200mm*200mm(2/4/6/8 inches wafer)全片自定义多点定位测量能力\r\n8.找焦功能:≥15mm,自动找焦\r\n9.样品台:X/Y/Z自动,满足尺寸φ200mm样件真空负压吸附固定测量\r\n10.膜厚重复精度:优于0.01nm(100nm SiO2/Si,30 repeats,1σ)\r\n11.折射率重复精度:优于0.0005(****@632.8nm,100nm SiO2/Si,30 repeats,1σ)\r\n12.偏振精度:非对角元素m=0±0.005(测量裸硅全波段90%满足)\r\n13.退偏指数:优于±0.5%(测量裸硅,全波段90%满足)\r\n14.分析软件:数百种的光学材料常数数据库,并支持用户自定义光学材料库;具备多层各向同性/异性光学薄膜建模仿真与分析功能\r\n15.测控服务器:CPU:Intel core i7 processor,RAM:≥8G,ROM:≥1T(SDD+HDD),显示器:≥22寸, windows操作系统","important":true}] | 一年质保,供应商需承担设备运输保险、安装调试、验收等流程产生的所有费用。提供免费设备操作使用及建模分析培训。 | |
| 椭偏仪 | 1.0/台 | 465000.0 | **煜康 | DUK-XT | [{"key":"1","value":"1.光谱范围:≥250-1000nm\r\n2.光谱测量间隔:<1nm @UV-VIS\r\n3.单点测量时间:<10s\r\n4.光斑尺寸:<500μm,消透明衬底背反\r\n5.光强调节方式:≥5档光强切换挡,根据光强信息切换最佳挡位\r\n6.偏振参数:Mueller Matrix:16组,Psi:0-90°,Delta:-90-270°\r\n7. Mapping功能:200mm*200mm(2/4/6/8 inches wafer)全片自定义多点定位测量能力\r\n8.找焦功能:≥15mm,自动找焦\r\n9.样品台:X/Y/Z自动,满足尺寸φ200mm样件真空负压吸附固定测量\r\n10.膜厚重复精度:优于0.01nm(100nm SiO2/Si,30 repeats,1σ)\r\n11.折射率重复精度:优于0.0005(****@632.8nm,100nm SiO2/Si,30 repeats,1σ)\r\n12.偏振精度:非对角元素m=0±0.005(测量裸硅全波段90%满足)\r\n13.退偏指数:优于±0.5%(测量裸硅,全波段90%满足)\r\n14.分析软件:数百种的光学材料常数数据库,并支持用户自定义光学材料库;具备多层各向同性/异性光学薄膜建模仿真与分析功能\r\n15.测控服务器:CPU:Intel core i7 processor,RAM:≥8G,ROM:≥1T(SDD+HDD),显示器:≥22寸, windows操作系统","important":true}] | 一年质保,供应商需承担设备运输保险、安装调试、验收等流程产生的所有费用。提供免费设备操作使用及建模分析培训。 | |
| 椭偏仪 | 1.0/台 | 465000.0 | 科兴科学 | SE100 | [{"key":"1","value":"1.光谱范围:≥250-1000nm\r\n2.光谱测量间隔:<1nm @UV-VIS\r\n3.单点测量时间:<10s\r\n4.光斑尺寸:<500μm,消透明衬底背反\r\n5.光强调节方式:≥5档光强切换挡,根据光强信息切换最佳挡位\r\n6.偏振参数:Mueller Matrix:16组,Psi:0-90°,Delta:-90-270°\r\n7. Mapping功能:200mm*200mm(2/4/6/8 inches wafer)全片自定义多点定位测量能力\r\n8.找焦功能:≥15mm,自动找焦\r\n9.样品台:X/Y/Z自动,满足尺寸φ200mm样件真空负压吸附固定测量\r\n10.膜厚重复精度:优于0.01nm(100nm SiO2/Si,30 repeats,1σ)\r\n11.折射率重复精度:优于0.0005(****@632.8nm,100nm SiO2/Si,30 repeats,1σ)\r\n12.偏振精度:非对角元素m=0±0.005(测量裸硅全波段90%满足)\r\n13.退偏指数:优于±0.5%(测量裸硅,全波段90%满足)\r\n14.分析软件:数百种的光学材料常数数据库,并支持用户自定义光学材料库;具备多层各向同性/异性光学薄膜建模仿真与分析功能\r\n15.测控服务器:CPU:Intel core i7 processor,RAM:≥8G,ROM:≥1T(SDD+HDD),显示器:≥22寸, windows操作系统","important":true}] | 一年质保,供应商需承担设备运输保险、安装调试、验收等流程产生的所有费用。提供免费设备操作使用及建模分析培训。 |